0.22微米也就是220纳米,过滤膜不知道,但是要在金属薄膜上做一个直径200nm的孔还不是很难,可以利用电子束曝光(EBL)+刻蚀(机),或者利用聚焦离子束,具体是什么不解释了,但是要用这套工艺在很薄的塑料、玻璃、聚合物之类的上面打孔还是没问题的,不知道微孔滤膜是什么材料,上面两种方法,一般国内实验室里极限分辨率大概是十几纳米。
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